用途
●提高各种材料的粘接性、表面改质处理
●清洗各类基板。
●电子部品、材料表面改质。
●去除有机物和自然氧化膜。
特点
●体积小,节省空间。
●选用小型腔体,反应效率高。
●更容易嵌入生产线使用。
●可通过操作面板自由切换等离子模式。
●配备冷却反应台
样品传输系统为模块式,便于组合。
属性 | 参数 |
模式 | RIE(DP模式选购) |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W300×D300mm |
反应气体 | 2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |