日本雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000XS

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13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。

产品详情
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使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式
高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应
多种用途。
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可根据需求规格提供定制。
特征
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除

属性	参数
等离子模式	DP/RIE
高频电源	13.56MHz
输出功率	Max1000 & 1500W
有效电极尺寸	W400×D375mm
电极	平板（多目的）
反应气体	聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）	1000 & 1500L/min
安全装置	门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

实验室设备代理商

北京东南仪诚实验室设备有限公司

安徽东南仪诚实验室设备有限公司创建于2009年，是北京东南仪诚实验室设备有限公司在安徽的分公司，公司现有员工十多人，专业代理20余家生产厂商上千种产品。公司发展方向就是成为开发，生产及代理为一体的专业实验室仪器设备供应商。同时我公司又是国内外一些实验仪器设备生产企业的地区代理功特约经销商；如：德国eppendorf股份公司、上海亚荣生化仪器厂、上海菁华科技仪器公司、上海博讯实业有限公司、上海弗鲁克流体机械制造有限公司、上海昕瑞仪器仪表有限公司、北京六一仪器厂、江苏省金坛荣华仪器制造有限公司等。安徽东南仪诚实验室设备有限公司是一个充满活力的企业，他拥有雄厚的实力，良好的信誉和企业形象，以及“团结·奋斗；严明·创新“的企业精神，拥有一批具有大专以上学历与企业荣辱与共的员工，我们一定能为您提供从需求分析、方案确立、设备采购、安装调试、至配套开发、培训维护等完整的服务。