日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC210
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC210
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适用于研究开发的小型等离子清洗机。

■操作性·功能 
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。 
●标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。 
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。 
■安全性·保护 
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。 
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。 
■产品优势 
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。 
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。 
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。 
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。 
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。
属性 参数
型号 PDC210
等离子模式 RIE( DP模式选配)
电极构造 平行平板(固定)
高频输出 Max500W
频率 13.56MHz
控制•显示 液晶触摸屏
反应室尺寸 W400 x D250 x H150mm
电极尺寸 W250xD170mm
反应室材质
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
反应气体流量控制 聚合控制器
真空泵 油泵(约345L/分)标配
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸 W540 x D600 x H600mm
重量 约 105kg
电源 三相AC200V6A

公司简介

实验室设备代理商
北京东南仪诚实验室设备有限公司
北京东南仪诚实验室设备有限公司

安徽东南仪诚实验室设备有限公司创建于2009年,是北京东南仪诚实验室设备有限公司在安徽的分公司,公司现有员工十多人,专业代理20余家生产厂商上千种产品。公司发展方向就是 成为开发,生产及代理为一体的专业实验室仪器设备供应商。同时我公司又是国内外一些实验仪器设备生产企业的地区代理功特约经销商;如:德国eppendorf股份公司、上海亚荣生化仪器厂、上海菁华科技仪器 公司、上海博讯实业有限公司、上海弗鲁克流体机械制造有限公司、上海昕瑞仪器仪表有限公司、北京六一仪器厂、江苏省金坛荣华仪器制造有限公司等。 安徽东南仪诚实验室设备有限公司是一个充满活力的企 业,他拥有雄厚的实力,良好的信誉和企业形象,以及“团结·奋斗;严明·创新“的企业精神,拥有一批具有大专以上学历与企业荣辱与共的员工,我们一定能为您提供从需求分析、方案确立、设备采购、安装调试、 至配套开发、培训维护等完整的服务。

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