日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR300

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从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

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用途
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、啕瓷等）。
•石棉预处理（膜过滤灰化）。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。

属性	参数
型号	PR300
模式	DP模式，桶型
高频输出	Max300W
频率	13.56MHz
同调方式	手动2轴同调方式
反应腔	超硬质玻璃064x160mmx3室
反应气体	1系统（氧气）流量计
控制	自动减压、自动密闭阀
配管材质	不锈钢、特氟龙、铜、铜合金
外形尺寸	W438xD520xH556mm
重量	约36kg
电源	AC100V7A

实验室设备代理商

北京东南仪诚实验室设备有限公司

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